專利果然難搞= =
發表於 : 2005-05-24, 19:34
OB聚會那天跟怪人聊到的東西翻譯到一個進度了
難怪阿魯會那麼挫敗..本人也是相當地挫敗orz(假想是阿魯的60%XD)
這邊舉些範例,不給答案的,有興趣自己試試看吧XD
ドライエッチング技術
前記接着層を大まかに形成したい微プローブ底部形状に相当するようにエッチングする工程
前記犠牲層表面に塗布した前記マスクの材料は主にタングステンである
最後に完成した全体機構に快速アニール熱処理を行う
難怪阿魯會那麼挫敗..本人也是相當地挫敗orz(假想是阿魯的60%XD)
這邊舉些範例,不給答案的,有興趣自己試試看吧XD
ドライエッチング技術
前記接着層を大まかに形成したい微プローブ底部形状に相当するようにエッチングする工程
前記犠牲層表面に塗布した前記マスクの材料は主にタングステンである
最後に完成した全体機構に快速アニール熱処理を行う